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MARCH AP-1000等离子清洗机
特点和优势
* 采用PLC控制，触摸屏式人机界面，实时工艺监控
* 灵活的电极组合适用于不同类型的产品载具实现Direct或DownStream模式等离子工艺
* 具有自动阻抗匹配的13.56MHz射频电源保证工艺的重复性
* 专有软件控制系统可记录工艺和生产数据，便于统计和工艺控制
苛刻生产环境下均匀的等离子体处理技术
诺信MARCH的AP-1000等离子清洗机系统专为满足高性能制造环境下24小时操作严格要求而设计，可实现均匀等离子体处理，安全稳定且操作简便。
AP1000型采用紧凑式设计，占地面积小，真空泵、腔体和电气控制件以及13.56MHZ射频电源都整合在设备内部，设备前部可方便完成操作维护，带有脚轮的真空泵装置方便检修。
等离子腔采用美规1 1标号的不锈钢和铝支架制造，坚久耐用。腔内可调整的电极组根据不同的产品载具，包括料盒、托盘、晶圆、晶舟等可灵活组合配置。
提高了生产率，满足大容量生产力要求
搭配HTP(高产能)电极的AP-1000等离子系统是综合了March特有的电极设计和AP-1000的高可靠性及其优良的工艺性。AP-1000 HTP充分利用了射频等离子产生的活性离子，不仅缩短工艺时间而且提高处理均匀性。
AP-1000HTP配备4路气体流量控制器，因工艺需求可选周不同的气体包括氩气、氢气和氦气等。
开槽式料盒可竖放于工艺腔内，通常每个料盒-少可放置20条引线框，根据料盒尺寸大小，一炉可-多放置12个料盒。
规格
外壳尺寸
W(宽)xD(长)xH(高)一占地面积 0.68米宽x 1.127米长x1.89米高
净重 485公斤（1069磅）
设备间隙 右边、左边一至少153毫米，前面一至少680毫米，后面一至少483毫米
处理腔体
-大容量 127升
多种电极配置 电源一接地，接地一电源，电源一电源
电极插槽数 14
电极间距 25.4毫米(600W)50.8毫米(1000W）
电极
电源电极面积 349毫米宽x 425毫米长
多孔接地电极面积 384毫米宽x 425毫米长
悬浮电极面积 349毫米宽x 425毫米长
射频功率
标配电源 600w
选配电源 1000w
频率 13.56MHZ
气体控制
流量计 10、25、50、100、250、500、1000、2000或5000标准毫升／分钟
MFC-多可配置数 4
控制和接口
软件控制 PLC控制，配有触摸屏界面
远程接口 PlasmaLIKIK、Processlink、SECS/GEM接口
真空泵
标配油泵 1500升／分钟，配有氧油除雾器
选配油泵 1500升／分钟，配育防锈油除雾器
选配干泵 1784升／分钟
干泵净化氮气用量 14升/分钟
干泵冷却水用量 5升/分钟
设施
电源 220伏，25安，50/60赫兹，3相，8 AWG，4线；380伏，25安，50/60赫兹，3相，8AWG，5线
工艺气体管径及接口 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
工艺气体纯度 实验室或电子等级
工艺气体压力 -小0.069兆帕至-大0.103兆帕，可调节
净化气体管径及接口 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
净化气体纯度 实验室或电子等级N2/CDA
净化气体压力 -小0.2兆帕至-大0.69兆帕，可调节
气动阀接口及管径 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
压缩空气纯度 CDA、无油、露点温度≤7℃，粒径<5微米
压缩空气压力 -小0.345兆帕至-大0.689兆帕，可调节
排放 外径38毫米（1.5英寸）管道法兰
合规性
半导体 通过SEMI S2/S8【环境、健康和安全／人体工学）认证
国际 通过CE认证
辅助设备
气体发生器 氮气、氢气（需要其他不可选硬件）
设施 冷却器、洗涤器
特点和优势
* 采用PLC控制，触摸屏式人机界面，实时工艺监控
* 灵活的电极组合适用于不同类型的产品载具实现Direct或DownStream模式等离子工艺
* 具有自动阻抗匹配的13.56MHz射频电源保证工艺的重复性
* 专有软件控制系统可记录工艺和生产数据，便于统计和工艺控制
苛刻生产环境下均匀的等离子体处理技术
诺信MARCH的AP-1000等离子清洗机系统专为满足高性能制造环境下24小时操作严格要求而设计，可实现均匀等离子体处理，安全稳定且操作简便。
AP1000型采用紧凑式设计，占地面积小，真空泵、腔体和电气控制件以及13.56MHZ射频电源都整合在设备内部，设备前部可方便完成操作维护，带有脚轮的真空泵装置方便检修。
等离子腔采用美规1 1标号的不锈钢和铝支架制造，坚久耐用。腔内可调整的电极组根据不同的产品载具，包括料盒、托盘、晶圆、晶舟等可灵活组合配置。
提高了生产率，满足大容量生产力要求
搭配HTP(高产能)电极的AP-1000等离子系统是综合了March特有的电极设计和AP-1000的高可靠性及其优良的工艺性。AP-1000 HTP充分利用了射频等离子产生的活性离子，不仅缩短工艺时间而且提高处理均匀性。
AP-1000HTP配备4路气体流量控制器，因工艺需求可选周不同的气体包括氩气、氢气和氦气等。
开槽式料盒可竖放于工艺腔内，通常每个料盒-少可放置20条引线框，根据料盒尺寸大小，一炉可-多放置12个料盒。
规格
外壳尺寸
W(宽)xD(长)xH(高)一占地面积 0.68米宽x 1.127米长x1.89米高
净重 485公斤（1069磅）
设备间隙 右边、左边一至少153毫米，前面一至少680毫米，后面一至少483毫米
处理腔体
-大容量 127升
多种电极配置 电源一接地，接地一电源，电源一电源
电极插槽数 14
电极间距 25.4毫米(600W)50.8毫米(1000W）
电极
电源电极面积 349毫米宽x 425毫米长
多孔接地电极面积 384毫米宽x 425毫米长
悬浮电极面积 349毫米宽x 425毫米长
射频功率
标配电源 600w
选配电源 1000w
频率 13.56MHZ
气体控制
流量计 10、25、50、100、250、500、1000、2000或5000标准毫升／分钟
MFC-多可配置数 4
控制和接口
软件控制 PLC控制，配有触摸屏界面
远程接口 PlasmaLIKIK、Processlink、SECS/GEM接口
真空泵
标配油泵 1500升／分钟，配有氧油除雾器
选配油泵 1500升／分钟，配育防锈油除雾器
选配干泵 1784升／分钟
干泵净化氮气用量 14升/分钟
干泵冷却水用量 5升/分钟
设施
电源 220伏，25安，50/60赫兹，3相，8 AWG，4线；380伏，25安，50/60赫兹，3相，8AWG，5线
工艺气体管径及接口 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
工艺气体纯度 实验室或电子等级
工艺气体压力 -小0.069兆帕至-大0.103兆帕，可调节
净化气体管径及接口 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
净化气体纯度 实验室或电子等级N2/CDA
净化气体压力 -小0.2兆帕至-大0.69兆帕，可调节
气动阀接口及管径 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
压缩空气纯度 CDA、无油、露点温度≤7℃，粒径<5微米
压缩空气压力 -小0.345兆帕至-大0.689兆帕，可调节
排放 外径38毫米（1.5英寸）管道法兰
合规性
半导体 通过SEMI S2/S8【环境、健康和安全／人体工学）认证
国际 通过CE认证
辅助设备
气体发生器 氮气、氢气（需要其他不可选硬件）
设施 冷却器、洗涤器